省电设计 ■ 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。 ※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。 ■ 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定） ■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2用途■ 半导体制造设备■ FPD制造设备■ 太阳能电池制造设备■ 玻璃/镜片等光学部件加工■ 镀膜工艺■ 加速器/宇宙环境模拟器规格外观尺寸表性能曲线控制器型号※1TGkine3300M-RTGkine3400M-R吸气口法兰VG300 / ISO-B320VG350排气口法兰※2KF40 / KF50排気速度N2 (L/s)3300N
(付带金属保护网) (L/s)3100H2 (L/s)2700大压缩比N2>1×108H23×103大气体流量※3、※4N2 (sccm)2600Ar (sccm)1900起动时间(min)≦11停止时间(min)≦13到达压力※5(Pa）