Advanced Energy MDX 500电源维修 3152296-004A AE直流电源维修

Advanced Energy MDX 500电源维修 3A AE直流电源维修

用于ICP领域AT系列自动匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250射频电源维修：AE，SEREN，spellman，glassan，IMS，MDX、MDXII、Pinnacle、Diamond系列，电镀电源，刻蚀射频电源，RE，PECVD，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等。

射频电源维修注意事项：

在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、IGBT管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等);

对于机器工作不稳定或工作时好时坏,可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动(在运输中有可能会出现)、接线端氧化等,老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘(可用风枪吹掉);如箱内积有很多油污且使用期很长,不可修复应报废处理