可有效检测：外延材料、扩散、离子注入。载流子浓度测量范围：1011/cm3~1021/cm3 ；深度分辨率：至1nm；模块化系统结构： - 拓扑型结构； - 实时监控腐蚀过程； - 适于微小样品及尺寸的晶圆；- 自动化系统；