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单晶片清洗机进口清关代理

商品编号：T00906               

型号：SU-3100

制造商：斯库林（SCREEN）

生产日期：2007年5月

机器尺寸(W × D × H)：2,120 × 1,200 × 2,700

概述：SU-3100多达8个内置腔室每小时生产300片晶圆、SU-3100旨在适应半导体行业的这些全球趋势。作为久经考验的SU-3000技术的改进，SU-3100拥有更高的晶圆传输速度，可提高清洁性能和生产率。其新平台可容纳多达8个内置腔室，其开发的高速晶圆传输系统使SU-3100每小时可处理多达300个晶圆。SCREEN还开发了2种用于不同用途的新型多工艺室，使SU-3100成为满足各种客户需求的完美工具，包括当今更高度详细的图案所需的处理。 SU-3100还配备了新的DDI（动态直喷）混合系统，可实现高精度的流量控制，使SU-3100适用于当益多样化的工艺，并提高了加工效率。此外，根据设备的预期用途和所需的化学溶液，客户甚至可以选择无需单独的化学溶液柜的一体化系统。

装箱清单：

1、 EFEM：（1台）

2、 装载端口：（4台）

3、 溶剂：（2台）

4、 工艺室：（2台）

5、 旋转模块电源箱：（8台）

6、 电源箱：（4台）

7、 密度计：（1台）

8、 托盘：（2台）

9、 电子流量装置：（1台）

10、 DVR电流：（1台）（二手设备）