UV照射机

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上海鸿微电子设备有限公司
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10
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发布时间
2012-07-09 16:39:00
产品详情
1、该UV照射机时用来将切割制程中使用的UV膜的粘性减弱直至消除;

2、LED冷光源与汞灯组成的光源相比,更能实现稳定性、均匀性的照射;

3、UV照射机采用的LED冷光源是180度平射产品;

4、UV照射机采用采用扫描式平射产品,使UV膜的粘性减弱直至消除;

5、LED冷光源直射范围:254mm*254mm;

6、HW-UV108适合于12inch(200mm)以下晶圆使用;

7、生产产能:60片晶圆/小时(原则上);

8、设备尺寸(长*宽*高):426mm*415mm*150mm;

9、电源:220V,50/60HZ;

10、LED冷光源和Frame的距离:三公分;

11、小巧的桌上型系统设计;

12、采用液晶触摸屏一键式操作;

13、开启门时LED冷光源是关闭状态,可以保护人体安全;

14、LED冷光源寿命是一般汞灯寿命的十倍;

上海鸿微电子设备有限公司

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