射频电源维修RF Generator Comdel CP5-500

射频电源维修RF Generator Comdel CP5-500

射频电源常见故障及维修：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏

大功率电源维修为主的工业自动化设备维修公司，主要从事半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件维修。公司拥有的电源维修工程师，对各种大功率开关 电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源维修等有深厚的维修功底和丰富的维修经验。我们本着“精益求精”的服务宗旨，努力提高维修技术 ，扩展测试手段，丰富维修经验，更新测试设备，积累一些常见的维修技巧，为用户排忧解难，从而更快 、更好的服务于用户。我们的维修更具有修复、合理周期短、无需电路图等优点。 服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和