sem检测分析

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扫描电镜能谱仪（SEM-EDS）测试

微谱检测中心—扫描电子显微镜主要用于对材料形貌/尺寸进行观察并分析，对带有镀层的材料膜层分析、对材料微区进行EDS元素分析（定性、定量、线分布、面分布、超级面分布）、细胞观察，同时在对材料进行失效分析时进行元素测定、金相分析等。广泛用于材料、化学、生物、医学、地质等领域。

品牌：美国FEI/日立hitachi

配置：1、EDS：布鲁克30mm双探测器（分辨率123eV）； 
2、EBSD：定向背散射电子探测器； 3、高分辨红外CCD； 
4、气体二次电子探测器； 5、超高真空系统、高真空/低真空/环境真空系统、压差光镧； 6、抛光机、切割机、脆断/冷镶设备、打磨机。

仪器参数：1、支持环境模式； 2、分辨率：环境扫描电子显微镜：3-8nm；冷场扫描电子显微镜：0.8-1.2nm。

应用案例