扫描电镜测试-SEM+EDS测试-十堰实验室

SEM和EDS结合使用，即扫描电子显微镜和X射线能谱仪，是一种强大的分析工具。SEM利用阴极发射的电子束经阳极加速，形成一束

高能电子束，当这束电子束轰击到样品表面时，可以激发出多种信息，这些信息经过收集和放大后，可以在显示屏上得到各种相应的图像。

同时，EDS可以从用电子束扫描样品时发射的X射线中获得组分信息。这种分析技术可以检测的元素范围几乎涵盖了整个周期表，从流程/质量

控制到故障分析和基础研究，EDS提供的数据对一系列应用至关重要。

在实际应用中，SEM-EDS技术广泛应用于材料科学、半导体工业、地质学、医学等领域。例如，对于半导体行业，SEM-EDS可以用来观察样品

的微观形貌，确定其元素组成和分布情况，从而进行失效分析和质量控制。