MFC-100型质量流量控制器是基于业内先进的微机电(MEMS)流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。产品 支持数字型和模拟型两种，模拟型产品采用0 ~ 5V模拟信号输入输出,数字型产品采用RS485通讯。