系统过滤粉尘技术措施 过滤精度高。本系统的过滤级数依次为：雾过滤器、除湿单元、干燥单元、精密 过滤器，最终能给仪器提供含尘粒度≤0.5μm、露点低于-40℃的超净气体,所以过滤 精度极高，因此整个过滤能有效保证分析精度。