臭氧稳定性极差，在常温下可自行分解为氧气，1%浓度以下臭氧在空气(常温常压)中的半衰期为半个小时左右，随温度的升高，分解速度加快。当温度达到270℃高温时可立即转为氧气。1%水溶液在常温下的半衰期为20分钟左右。所以臭氧不易贮存，需现场制作，立即使用。