气体检测报警仪固定式砷化氢AsH3气体探测器

  1.别名·英文名

  砷烷、胂、氢化砷Arsine、Hydrogen arsenide．

  2.用途                   

  扩散、外延生长、离子注入、化合物半导体用气体、化学气相淀积。