由于氟的高度活性，稀有气体的化合物也是*早从氟或含氟化合物开始制备的。*早得到的是六氟合铂酸氙（XePtF6），此后还得到XeF2、XeF6、XeO3以及氪的氟化物等。此外，氟单质也用于获得一些高价的过渡金属化合物，比如Cs2CuF6、AuF5、UF6等。