13.56MHz射频电源（大功率）

产品性能

匹配器系统采用高速匹配算法，当接近匹配点时，这种高速匹配算法会逐渐的减缓系统的速度，在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω，调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。

应用对象

该自动匹配器主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。