2MHz射频电源

产品性能

该射频电源采用E类放大器，实现效率高、高可靠性。大的冗余设计，使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络，实现波形的纯净。谐波性能优越，可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数

产品性能

该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。

控制方式

该电源控制方式多样：RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。