安徽SEM+EDS扫描电镜测试-CNAS/CMA实验室

电子电气产品的质量和性能往往取决于其微观结构和组成成分，SEM + EDS 扫描电镜测试为我们打开了深入探究这些特性的大门。

SEM 的工作原理基于电子与物质的相互作用。当一束高能电子束聚焦在电子电气产品的样品表面时，会激发出各种物理信号。其中，二次电子信号对样品表面形貌最为敏感，通过

检测二次电子信号的强度变化，SEM 可以构建出样品表面极为精细的微观形貌图像，分辨率可达到纳米级别。这对于检测电子电气产品中的微小结构，如芯片上的电路布线、电子

元件的微观缺陷等非常有效。

EDS 是对 SEM 功能的重要补充。它通过检测样品受电子束激发产生的 X 射线来分析元素组成。由于不同元素的原子在受到激发后会发射出具有独特能量的 X 射线，所以通过分析

这些 X 射线的能量和强度，就能确定样品中存在哪些元素以及它们的相对含量。

在实际操作中，虽然没有特定的针对电子电气产品的 SEM + EDS 测试统一标准号，但相关的电子材料分析规范可作为参考依据。

测试流程一般为：先对电子电气产品进行取样，确保样品能够代表被检测的产品特性。然后对样品进行适当的制备，例如对于粉末样品，可能需要将其分散在导电基底上；对于薄膜

样品，要确保其平整地固定在样品台上。将制备好的样品放入 SEM 设备中，在真空环境下，调整电子束参数以获得满意的图像效果。之后，当需要进行元素分析时，开启 EDS 功能，

对特定区域进行元素检测。检测过程中，会得到能谱数据，这些数据经过专业软件处理后，以直观的能谱图形式呈现，从而确定元素信息。

所需设备包括高性能的扫描电子显微镜、与之配套的能量色散 X 射线光谱仪、样品制备工具（如喷金仪用于提高非导电样品的导电性等）以及计算机分析系统。扫描电子显微镜要能提

供稳定的电子束和高清晰的成像效果，能量色散 X 射线光谱仪要具有快速准确的元素分析能力，计算机分析系统则负责数据采集、处理和结果展示。

SEM + EDS 扫描电镜测试为电子电气产品的研发、生产过程中的质量监测以及失效分析等提供了不可或缺的技术支持，有助于提高产品的可靠性和竞争力。