绵阳扫描电镜测试机构-优尔鸿信

扫描电镜（SEM）的核心测试功能及应用领域

扫描电镜测试功能

微观形貌观测SEM（纳米级分辨率）：通过高能电子束扫描样品表面，生成三维立体图像，分辨率可达1-5纳米。

适用对象：金属、陶瓷、高分子材料、生物组织等。

典型应用：

观察材料表面纹理、孔洞、颗粒分布；

分析纳米材料的粒径、均匀度及团聚状态；

生物细胞表面形态及器官精细结构。

元素成分分析（结合能谱仪EDS）：检测样品激发出的特征X射线，实现微区元素定性与定量。

适用对象：金属间化合物、矿物、半导体材料等。

典型应用：

确定材料中杂质元素种类及含量（如陶瓷中的气孔杂质）；

失效分析中鉴别断裂面的腐蚀产物。

晶体结构分析（结合EBSD技术）功能：通过电子背散射衍射分析晶体取向、晶界分布。

典型应用：

金属材料的织构分析；

半导体材料的晶格缺陷检测。

断口与失效分析功能：利用大景深优势，清晰呈现断裂面的三维形貌。

典型应用：

揭示金属断裂机理（如脆性/韧性断口）；

分析工业零部件的失效原因。

扫描电镜应用领域

材料科学：纳米材料结构表征、金属晶粒分析、陶瓷孔隙观测、高分子相分离研究

生命科学：细胞表面超微结构观察、组织病理分析、病毒形态研究

地质/矿业：矿物成分鉴定、岩石孔隙结构分析、矿床成因研究

电子工业：集成电路形貌检测、半导体器件缺陷定位、芯片焊点质量评估

考古/刑侦：文物表面工艺分析、犯罪现场微量物证（纤维、土壤）溯源

食品科学：食品微观结构（如淀粉颗粒、纤维组织）观测，质量控制

样品处理注意事项

导电性要求：非导电样品需镀金/碳以避免电荷积累导致图像畸变。

干燥处理：含水分样品需冷冻干燥或临界点干燥，防止真空环境损坏。

磁性材料：需预先退磁，避免干扰电子束路径。

尺寸限制：典型样品尺寸需适配样品仓（如直径≤100mm，高度≤50mm）