IS系列贵金属镀膜设备参数
装载腔室
工艺腔室
494*475*510（mm）
5（mm）
极限真空
＜5.0*10-5 Pa
最高温度
＜500℃（工件加温）
涂层区域
Φ45*60（工件最大尺寸）
控制系统
·全自动工艺控制软件 ·参数实时监测系统
设备尺寸
2700*2280*2770（mm）
功率
20KW
注明：以上数据来源于安徽纯源镀膜科技有限公司- 材料实验室检测数据