佛山微迈 纳米干冰半导体清洗设备

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佛山微迈科技有限公司
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2025-03-14 17:59:04
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以颗粒状的干冰作为清洗介质,通过压缩空气将干冰微粒高速喷向清洗物表面,使清洗物表面的污垢冷冻至脆化并爆裂,干冰微粒通过撞击作用渗透到污垢及基层

材料之间,随即升华,体积瞬时增大800倍,迫使污垢与基层材料脱离,达到清洗的目的。

单喷头干冰清洗工作图

单喷头干冰清洗速度压力仿真                                                                  干冰清洗原理示意图

 

 

序号清洗方法异物粒子祛除膜层祛除对物件的损伤干燥工序环境污染难题
湿法1纯水一般较差一般水膜再着附,金属元素残留
2有机溶剂一般较好较大有机溶剂再着附,溶剂后处理
干法3纳米干冰很好较低清洗面积较小
4超声波一般一般固体异物,微细颗粒难除净
5空气一般一般固体异物,微细颗粒难除净
6大气等离子一般较大清洗能力较差

 

 

型号半导体清洗机WMGB01
外形尺寸450×500×300
重量20Kg
电源220V 50Hz 单相
功率2kW
CO2喷射系统
CO2液态
CO2压力≥5.5MPa
喷嘴规格0.1mm~4mm
CO2消耗量50~200g/min
CO2恒温系统
介质-
容量-
温度调节范围-
CO2增压系统
驱动介质-
驱动气压-
增压比-
增压量-
CDA辅助系统
CDA气体压缩空气/氮气
CDA压力0.1~0.8MPa
CDA温度调节选配

 

 

项目外观

孔内清洗效果

(EDX检测残渣)

孔内清洗效果

(铝层厚度,SEM检测铝层)

效果
干冰清洗前表面泛白孔内有残渣铝层4.5um——————
干冰清洗后表面干净孔内无残渣铝层4.3um

①清洗效果理想

②对铝层无腐蚀

③结合力:5.2N/cm

高压水枪清洗后表面干净孔内有铜屑铝层4.5um

①清洗效果理想

②孔内有铜屑

③结合力:4.5N/cm

 


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广东省佛山市南海区狮山镇塘头名创钢材仓储园B区二楼
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