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原理：
真空变压吸附空分制氧，是用超大气压吸附真空解吸的流程，根据沸石分子筛在加压下选择吸附空气中的氮气，而未被吸附的氧气富集在吸附塔顶部作为产品气输出，与此同时，另一吸附塔进行真空再生。当处于吸附状态的吸附塔临近饱和之前，该塔自动减压解吸再生，而另一只完成再生的吸附塔开始加压吸附制取氧气。如此循环，两只吸附塔交替重复产氧和再生，实现连续制取氧气。
技术特点
1、装置工艺流程简单；
2、制氧规模10000m3/h以下，制氧电耗更低，投资更小；
3、土建工程量小，装置安装周期比深冷装置短；
4、装置运行和维护费用低；
5、装置运行自动化程度高，开停车方便快捷，操作人员少；
6、装置运行稳定性强，安全性高；
技术指标
产品规模：Nm3/h
氧气纯度：≥90-94%，可根据用户实际要求在30-95%范围内调整。
制氧电耗：氧纯度为90%时，折合为纯氧的电耗（有用功）为0.32-0.37kWh/Nm3
氧气压力：≤20kpa（可增压）
年开工率：≥95%
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