《洁净机器人 SEMI S2 认证前整改全流程洁净控制方案》

EMC测试核心项目

EMC测试分为 电磁干扰（EMI） 和 电磁抗扰度（EMS） 两大类：

（一）EMI发射测试（防设备干扰环境）项目测试内容标准限值

传导骚扰（CE）	电源线高频噪声传导测量	CISPR 14-1/GB 4343.1
辐射骚扰（RE）	整机电磁场辐射强度（30MHz-1GHz）	FCC Part 15B/CISPR 22
谐波电流（Harmonic）	电网谐波污染评估	IEC /GB 17625.1

（二）EMS抗扰度测试（防环境干扰设备）项目测试内容判定标准

静电放电（ESD）	接触放电±6kV/空气放电±8kV	GB/T 17626.2（A级不宕机）
射频辐射抗扰度（RS）	80MHz-1GHz场强10V/m模拟干扰	GB/T 17626.3
浪涌抗扰度（Surge）	模拟电网波动（±1kV-±4kV）	IEC
电快速瞬变脉冲群（EFT）	电源/信号线±2kV脉冲群干扰	GB/T 17626.4

注：A级标准要求测试中设备功能无降级 。

三、检测标准体系（一）guojibiaozhun

通用标准：CISPR 14-1（EMI）、CISPR 14-2（EMS）、IEC （谐波）。

欧美准入：FCC Part 15B（美国）、ICES-003（加拿大）。

（二）中国标准

强制要求：GB 4343.1（EMI）、GB 17625.1（谐波）。

机器人专项：GB/T 17626系列（静电/射频/工频磁场抗扰度）。

四、典型EMC故障与整改案例（一）常见故障根源

电机驱动干扰：PWM调速产生高频噪声，通过长电源线辐射（案例：2米线缆致RE超标）。

电源电路缺陷：BUCK电路滤波不足（电容参数错误）、共模电感Layout覆铜导致失效 。

时钟信号辐射：Flash/摄像头时钟谐波超标（200-500MHz频段）。

（二）整改技术方案问题类型整改措施案例效果

电机噪声	- 输出端加共模滤波器（如BDL系列） - 电机并联二极管吸收反向电动势	辐射值降低15dB
电源传导骚扰	- 输入级增加1nF/100nF陶瓷电容 - MOS管DS极加RC滤波（R=10Ω, C=10nF）	传导噪声达标
时钟辐射	- 时钟IC增加展频功能 - 信号线串联电阻（30cm线长用22Ω）	谐波峰值衰减20dB
整机辐射	- 电池输入端绕磁环 - 优化PCB接地层（避免分割）	全频段通过RE测试

（三）系统性设计优化

屏蔽：

金属外壳接大地（防ESD）；变压器加铜箔屏蔽层（抑低频辐射）。

滤波：

电源入口加π型滤波器（锰锌共模电感+XY电容）；

信号线使用铁氧体磁珠（>100MHz高频抑制）。

接地：

数字/模拟地分割，单点连接 ；

屏蔽线缆两端接地（降天线效应）。

五、整改流程建议

预评估：

使用频谱仪定位干扰源（如电机/时钟模块）。

分层整改：

优先电路级修正（滤波/接地），其次结构优化（屏蔽/布线）。

验证测试：

在ISO 17025认证实验室复测（如电波暗室）。

持续监控：

量产阶段定期抽检，避免物料变更引入新干扰 。

六、特别注意事项

洁净机器人需平衡洁净度与EMC性能：

避免使用挥发性密封材料（影响洁净度）；

屏蔽罩选用不锈钢材质（防氧化颗粒脱落）。

真空环境机器人需特殊设计：

无油润滑系统减少放气污染 ；

真空兼容EMC组件（如陶瓷电容）。

引用说明：所有方案均基于泳池机器人、扫地机器人等同类产品的成熟整改案例 [[31]-[40]]，并适配洁净场景的特殊需求。