薄膜厚度测量

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2025-07-06 10:37:36
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变焦功能,可对各种异形凹槽件进行无损检测,凹槽深度范围0-90mm

核心EFP算法,可对多层多元素快、准、稳的做出数据分析,配有高精密微型移动滑台,可实现多点位、多样品的位移和同时检测

可同时分析23个镀层、24种元素,测量元素范围:氯Cl(17)- 铀U(92),涂镀层分析范围:锂Li(3)- 铀U(92),涂镀层检出限:0.005μm

人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作



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