CMP清洗机

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2025-09-11 14:44:03
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    全自动RCA清洗机。

 

全自动RCA清洗机是半导体制造等领域常用的清洗设备,具有以下优点:

 

清洗效果好

 

- 多种清洗方式结合:通常综合了超声波清洗、喷淋清洗、兆声波清洗、浓度监测,流量监测、循环、过滤、加热、冷却、抛动、旋转等多种技术。比如超声波可利用高频振动产生的微小气泡破裂冲击物体表面,有效去除微小颗粒和有机物;喷淋能对工件全方位冲洗,确保无清洗死角。

 

- **控制清洗参数:能精准调控清洗液的温度、浓度、流量以及清洗时间等参数。以清洗液温度为例,合适的温度可增强清洗液的活性,提高清洗效率,确保对不同类型污染物都能达到理想的清洗效果。

 

自动化程度高


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