全自动光刻机配件超声波清洗机

全自动光刻机配件超声波清洗机通过（H SO ）与过化（H O ）混合溶液（SPM）的强化性，去除硅片表面光刻胶残留、有机物及金属污染。其采用单片或槽式清洗模式，结合高温（100-120℃）与流体动力学设计，确保均匀腐蚀与污染物，并通过DI水强力冲洗避免二次污染。全自动光刻机配件超声波清洗机需配置耐腐蚀材质（如PTFE或PFA）以抵御环境，并集成实时颗粒监测与液温控制系统，保障清洗后晶圆表面洁净度达纳米级标准，为后续蚀刻、化等工艺提供超净基底，是制程中ue的清洁环节。

全自动光刻机配件超声波清洗机参数：

化学参数

SPM溶液配比

（H SO ）与过化（H O ）体积比：典型比例为2:1~8:1，部分工艺可调整至浓度以增强化性。

添加剂：可能含表面活性剂（如非离子型）以降低表面张力，提升清洗液对复杂结构的渗透能力。

全自动光刻机配件超声波清洗机温度控制

工作温度范围：80℃~120℃（常规），高温制程可达180℃以上（需红外加热或循环热水系统）。

控温精度：±0.5℃（PID温控系统），确保反应稳定性。

清洗液流动性

流速与均匀性：槽式设备通过喷淋或循环泵实现药液均匀分布，单片设备采用摆动喷嘴与晶圆旋转配合，覆盖误差≤±5%。

全自动光刻机配件超声波清洗机结构参数

材质与耐腐蚀性

槽体材料：PTFE（聚四氟乙烯）、石英玻璃或PFA（烷聚合物），耐受腐蚀，避免金属离子污染。

密封性：采用氟橡胶或耐腐蚀密封圈，防止泄漏。

全自动光刻机配件超声波清洗机清洗容量

晶圆尺寸：兼容2-12寸晶圆，主流机型支持8吋/12吋批量处理（如25片/篮）。

单次装载量：槽式设备可处理多片晶圆（如50片/批），单片设备适应单片或小批量。

全自动光刻机配件超声波清洗机时间与周期

清洗时间：可调范围0-30分钟（根据污染物类型调整）。

清洗效率：单片设备约1-3分钟/片，槽式设备批量处理周期≤30分。

全自动光刻机配件超声波清洗机污染控制与洁净度

颗粒去除率

目标值：≥99.9%（如≤10个/平方厘米），通过超声波空化或兆声波增强微小颗粒剥离。

检测手段：在线颗粒计数仪（如激光散射法），实时监控＞0.1μm颗粒。

全自动光刻机配件超声波清洗机金属杂质控制

残留上限：金属离子浓度≤101  atoms/cm2（如Fe、Cu、Al等），通过DI水漂洗（电阻率≥18.2MΩ·cm）实现。

全自动光刻机配件超声波清洗机环保设计

防护

泄漏检测：配备液位传感器与自动泄压系统，防止泄漏。

废气处理：排风系统过滤酸碱雾气（风量≥500m3/h），符合环保标准。

废液处理

回收率：清洗液循环过滤系统（如UF/MF膜过滤），减少耗材浪费。

环保合规：废液分类收集（酸/碱分离），中和后排放，符合RoHS/REACH法规。

全自动光刻机配件超声波清洗机自动化与数据追溯

控制模式

人机界面：触控屏预设配方参数（如温度、时间、流速），支持手动/自动模式切换。

数据记录：内置MES接口，上传清洗日志（如颗粒数、膜厚变化），便于良率分析。