ppm级水蒸气发生器

水蒸气浓度可调范围：1-1000ppm

蒸汽流量精度高，可达±1%

汽化率****，汽化通道无死体积

亿科研发的ppm级水蒸气发生器可在气体环境中稳定生成百万分之一（ppm）级别的水蒸气，广泛应用于半导体制造、材料科学、医疗设备研发等对湿度控制要求严苛的领域。ppm级水蒸气发生器经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。