ppb级水汽发生器

超低浓度（PPB级）控制

露点范围达到 -30~50℃  

湿气流量范围：0-500L/min

控制湿度范围 0~95%可调               

湿度精度+/-1.5%          

温度范围：-20~80℃                       

温度精度+/-0.1℃     

自带管路伴热功能

亿科ppb级水汽发生器是利用高精度恒流泵定量供给液体水，通过控制液态水相变，气态水蒸气 与干路载气混合形成恒定浓度的湿气,再通过恒定温度控制形成不同温度下的相对或湿气。