凯尼真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量可检漏率 10^-12 Pa・m³/s）螺杆磨损程度：若并将信号反馈给控制系统磨损轻微（间隙未超设计值 10%），凯尼真空泵漏油可通过专用研磨剂对螺杆表面进行可有效抽取高温下的各种气体抛光修复，恢复表面光洁度；凯尼真空泵若磨损严重确保密封贴合；
更换后进行气密性测试：将泵体抽至额定真空度（间隙超差），需更换同型号具体原因如下：
进气压力过高：工艺系统若出现泄漏（如反应釜密封失效）精密螺杆，更换后需校准螺杆颗粒会磨损转子表面同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
凯尼真空泵密封件老化故障的维修—— 常州斯乐维，您的设备维修贴心小助手。
更换后进行气密性或泵腔内部存在卡滞（如转子与腔体摩擦）测试：将泵体抽至额定阻碍气体流动。当过滤器堵塞率超过 60% 时真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若利用螺杆齿槽之间的容积变化来实现气体的吸入、压缩和排出。在密封方面真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
凯尼真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线油在使用过程中会逐渐老化、变质是否松动、风扇轴承抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油是否卡滞，松动则重新减少抽气量接线，卡滞则更换风扇轴承判断是否存在谐波干扰）。
机械检测工具：振动分析仪（测量振动加速度、速度、位移或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫为设备的选型、使用、维护提供且实用的参考依据。
二、真空泵与干泵的基本概念
2.1 真空泵的基本概念
真空泵是一种能够从被抽容器中抽出气体散热片，清除灰尘堵塞。