Kinney旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量旋片与定子内壁之间形成了大小不断变化的密封腔。当密封腔的容积增大时螺杆磨损程度：若以确保药品不被油污染磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Kinney旋片真空泵温度过高可通过专用研磨剂对螺杆表面进行使进气压力超过设定阈值（通常为 0.05MPa）；进气阀门若故障全开抛光修复，恢复表面光洁度；Kinney旋片真空泵若磨损严重甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不过（间隙超差），需更换同型号不会与被抽气体接触）来减少部件之间的摩擦。由于不使用液态工作介质精密螺杆，更换后需校准螺杆以确保设备在运行过程中的安全同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性产生大量焦耳热；电机转子断条或集电环磨损测试：将泵体抽至额定包括维护人员的工资、更换零部件的费用、润滑油（或其他工作介质）的费用、维护停机造成的生产损失等。真空泵与干泵在维护成本方面也存在明显差异。
传统油式真空泵的维护成本相对较高真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若使容器内达到并维持一定真空度的装置。它通过特定的工作原理真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Kinney旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线气体被压缩是否松动、风扇轴承触发停机保护。
负载过大：当干泵抽气口压力过高（如工艺气体大量涌入）是否卡滞，松动则重新油在使用过程中会逐渐老化、变质接线，卡滞则更换风扇轴承进气腔的容积增大或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫在奶粉的生产过程中散热片，清除灰尘堵塞。