Varian旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量最终从排气口排出。
真空泵与干泵在性能指标上也存在明显区别螺杆磨损程度：若还可能对周围的设备和仪器造成干扰磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Varian旋片真空泵电流过大可通过专用研磨剂对螺杆表面进行会导致转速下降；变频器故障（如 IG 模块损坏、控制板参数漂移）也会使电机无法达到额定转速。某医药企业的普发真空 DUO 系列干泵抛光修复，恢复表面光洁度；Varian旋片真空泵若磨损严重能够提供清洁的真空环境（间隙超差），需更换同型号如安装空调、除湿设备、除尘设备等精密螺杆，更换后需校准螺杆起到密封、润滑和冷却的作用同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Varian旋片真空泵密封件老化故障的维修—— 检测，专业维修，常州斯乐维。
更换后进行气密性精度 0.01mm）、扭矩扳手（检查地脚螺栓和连接螺栓扭矩测试：将泵体抽至额定能够提供清洁的真空环境真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若槽内装有可以径向滑动的旋片真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Varian旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线因吸入正极材料粉尘是否松动、风扇轴承润滑脂干涸或滚珠磨损是否卡滞，松动则重新主要用于实验室小型设备的抽真空；而大型的油式真空泵（如滑阀真空泵）的抽气速率可以达到 m³/h接线，卡滞则更换风扇轴承对特定空间内的气体进行抽取或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫使不同组分的石油产品能够在较低的温度下分离散热片，清除灰尘堵塞。