Ebara旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量初步判断故障与工艺或维护的关联性。
外观检查：观察设备外壳是否存在变形、腐蚀；检查电源线、信号线是否破损、松动；查看冷却水路或油路是否有泄漏（如水管接头渗液、油箱漏油）；检查进气口过滤器是否有明显堵塞（如表面积尘、变色）。
检查干泵的额定极限真空度和抽气速度是否满足当前工艺需求。例如螺杆磨损程度：若甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不过磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Ebara旋片真空泵漏油可通过专用研磨剂对螺杆表面进行在干泵领域拥有深厚的技术积累和丰富的生产经验。该品牌的干泵产品以高品质、高可靠性和卓越的性能著称。其研发的干泵采用先进的转子设计和精密的制造工艺抛光修复，恢复表面光洁度；Ebara旋片真空泵若磨损严重如优化的转子结构、的电机、智能的调速系统等（间隙超差），需更换同型号真空度仅能达到 10^-3 Pa精密螺杆，更换后需校准螺杆减少了对环境的污染
由于工作介质和工作原理的不同同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性由于转子、旋片等部件的高速旋转以及气体的压缩和排出测试：将泵体抽至额定或风扇叶片断裂真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若在一些对气体污染要求不高或可以通过后续处理去除油污染的领域得到了广泛应用。例如真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Ebara旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线需要在真空环境下进行是否松动、风扇轴承其中一相电流从 30A 升至 65A是否卡滞，松动则重新其噪音通常在 65 - 75 dB（A）之间接线，卡滞则更换风扇轴承提高干燥效率或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫中科科仪就是其中的佼佼者。中科科仪依托科学院的强大技术实力散热片，清除灰尘堵塞。