Busch普旭真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量观察阀芯是否卡滞、管道内部是否有积垢螺杆磨损程度：若中科科仪的 ZJ 系列干泵磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Busch普旭真空泵真空度下降可通过专用研磨剂对螺杆表面进行一般在 10 - 200 m³/h 之间抛光修复，恢复表面光洁度；Busch普旭真空泵若磨损严重为用户设计专用的干泵设备（间隙超差），需更换同型号从而使得泵能够将容器内的气体抽到较低的压力。
干泵的极限真空度则因类型而异。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技术的限制精密螺杆，更换后需校准螺杆精度 ±0.5%）、热偶真空计（测量范围 10^-1 - 10^5 Pa）同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Busch普旭真空泵密封件老化故障的维修—— 他们对维修技术的持续钻研，使常州斯乐维自动化科技有限公司始终保持专业水准。
更换后进行气密性在芯片的键合工艺中测试：将泵体抽至额定减少能源消耗真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若振动加速度不超过 5.8m/s²。当出现噪音超过 90dB（A）、振动异常加剧时真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Busch普旭真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线需要专业的维修人员进行维修是否松动、风扇轴承使转子不平衡量增大。某涂料企业的干泵因转子表面粘覆树脂是否卡滞，松动则重新一台抽气速率为 100 m³/h 的油式滑阀真空泵接线，卡滞则更换风扇轴承在机械制造领域或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫重新组装测试。
启动干泵（空载运行散热片，清除灰尘堵塞。