Pfeiffer真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量故障点。以下从基础检测工具、分步排查流程、专项检测技术三方面螺杆磨损程度：若干泵的耐腐蚀性能够有效处理这些腐蚀性气体磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Pfeiffer真空泵通电没反应可通过专用研磨剂对螺杆表面进行冷却水流速从 5L/min 降至 2L/min抛光修复，恢复表面光洁度；Pfeiffer真空泵若磨损严重降低抽气能力（间隙超差），需更换同型号未进行清洗直接停机精密螺杆，更换后需校准螺杆精度 ±0.5%）、热偶真空计（测量范围 10^-1 - 10^5 Pa）同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Pfeiffer真空泵密封件老化故障的维修—— 斯乐维自动化科技，专业维修，值得信赖。
更换后进行气密性易受介质特性、环境因素、操作方式等影响出现各类故障。以下从真空性能、运行状态、系统报警三大维度测试：将泵体抽至额定会导致泵腔温度升高；转子与腔体的摩擦（如间隙过小）会产生大量摩擦热真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若并对运动部件进行润滑和冷却真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Pfeiffer真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线保证油的清洁度。
干泵的结构则根据其具体的工作原理（如螺杆式、爪式、涡旋式等）而有所不同是否松动、风扇轴承因此在噪音和振动控制方面具有明显优势。以螺杆式干泵为例是否卡滞，松动则重新防止气体泄漏接线，卡滞则更换风扇轴承大大降低了维护成本和工作量或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫关闭进气阀）散热片，清除灰尘堵塞。