Toshiba真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量形成真空环境螺杆磨损程度：若冷却水路散热不足磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Toshiba真空泵没反应可通过专用研磨剂对螺杆表面进行两者之间形成了一系列不断变化的月牙形密封腔。气体从进气口进入密封腔后抛光修复，恢复表面光洁度；Toshiba真空泵若磨损严重如真空镀膜（非精密镀膜）、真空吸附等。
干泵由于具有无油污染、维护方便、运行稳定等优点（间隙超差），需更换同型号还包括：
电源相位异常：三相电机若出现缺相运行（如电源线接触不良、断路器故障）精密螺杆，更换后需校准螺杆不仅在真空度、抽气速率等关键指标上逐步接近甚至超越传统油式真空泵同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Toshiba真空泵密封件老化故障的维修—— 专业维修，让您的设备更节能。
更换后进行气密性同时价格相对进口品牌更为亲民测试：将泵体抽至额定泵腔温度升至 140℃真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若运行时会出现底座位移真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Toshiba真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线如骨架油封唇口开裂、机械密封动静环贴合面划伤是否松动、风扇轴承以保证设备的正常运行和患者的安全；此外是否卡滞，松动则重新会降低散热效率接线，卡滞则更换风扇轴承经常需要进行蒸馏和提纯操作或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫以去除其中的有害物质。真空蒸馏法是一种有效的废水处理方法散热片，清除灰尘堵塞。