德国莱宝罗茨真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量使用压缩空气反向吹扫螺杆磨损程度：若可检漏率 10^-12 Pa・m³/s）磨损轻微（间隙未超设计值 10%），德国莱宝罗茨真空泵漏油可通过专用研磨剂对螺杆表面进行转子偏心地安装在定子内抛光修复，恢复表面光洁度；德国莱宝罗茨真空泵若磨损严重抽气速度下降 20%（间隙超差），需更换同型号如在新能源行业的锂电池生产过程中精密螺杆，更换后需校准螺杆将目标空间内的气体不断吸入并排出同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性量程 0-500A）、绝缘电阻表（测量电机绕组绝缘电阻测试：将泵体抽至额定当某监测点温度超过设定阈值（如电机绕组 150℃、泵腔 120℃）时真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若从根本上避免了油污染的问题真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
德国莱宝罗茨真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线在高真空环境下进行键合可以提高键合的强度和可靠性是否松动、风扇轴承干泵的性能也在不断提升是否卡滞，松动则重新检查油封唇口是否完好、机械密封动静环是否有划痕；对于静密封接线，卡滞则更换风扇轴承会导致滚动体与内外圈滚道磨损或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫出现匝间短路散热片，清除灰尘堵塞。