高洁净真空O型密封圈真空出气速率测试真空释气测试

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2026-01-15 16:04:00
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高洁净真空O型密封圈真空出气速率测试真空释气测试

在半导体制造、航空航天等高端工业领域,真空或高温环境下的密封可靠性直接关系到设备性能与使用寿命。高洁净真空专用O型密封圈(O-ring)作为关键密封部件,其在真空或高温环境中释放的挥发性成分可能导致分子污染,干扰半导体器件载流子迁移、破坏绝缘特性,甚至引发设备故障。因此,真空出气速率测试成为O型圈选型与质量验证的核心技术手段。

主流测试标准

1. 基础测试标准:ASTM E595 这是全球公认的真空释气评估标准,现行版本为ASTM E595-23,通过模拟125℃高温与5×10⁻⁵torr真空环境,对高洁净真空O型圈开展加速老化测试,核心量化总质量损失(TML)和可凝挥发物(CVCM)等指标,排除环境湿度干扰后,结果可以精准反映真空环境下O型圈的出气特性,是半导体、航空航天领域真空密封材料的技术准入门槛。

2. 进阶测试标准:ASTM E1559 该标准是ASTM E595的优化版本,可以对高洁净真空O型圈进行原位出气特性测量,同时获取不同温度敏感表面的沉积特性,测试温度覆盖范围广,低温可达90K。还能够对O型圈出气的污染成分进行实时分析,得到随时间、温度变化的沉积动力学模型,直接测算出气速率,还可以开展挥发物质聚合效应、真空紫外辐射对O型圈表面出气影响的专项研究。

高洁净真空O型密封圈真空出气速率测试真空释气测试

北京领宇天际科技有限责任公司 可承接高洁净真空O型圈的ASTM E595 、中国航天行业标准为及ASTM E1559原位测试,覆盖橡胶弹性体等各类真空密封材料,能够获取O型圈的真空出气速率以及污染成分综合分析数据。

北京领宇天际科技有限责任公司 销售符合ASTM E595、、ASTM 1559等国际通用标准的真空出气测试设备, 并可为户提供合规专业的真空出气测试服务,服务证书全球认可,测试覆盖航天、光学、车载激光雷达、高端电子等多领域材料检测需求。

测试材料类型:有机聚合物和无机材料。其中包括聚合物灌封化合物、泡沫、弹性体、薄膜、胶带、绝缘材料、收缩管、粘合剂、涂料、织物、系绳和润滑剂等等。


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