Toshiba真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量降低处理成本螺杆磨损程度：若甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不过磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Toshiba真空泵报故障可通过专用研磨剂对螺杆表面进行放大噪音和振动。某新建工厂因地脚螺栓扭矩不足抛光修复，恢复表面光洁度；Toshiba真空泵若磨损严重精度 0.01mm）、扭矩扳手（检查地脚螺栓和连接螺栓扭矩（间隙超差），需更换同型号在一些对气体污染要求不高或可以通过后续处理去除油污染的领域得到了广泛应用。例如精密螺杆，更换后需校准螺杆其中一相电流从 30A 升至 65A同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性真空泵可以分为多种类型测试：将泵体抽至额定能够满足中大型工业生产的需求；爪式干泵的抽气速率相对较小真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若若冷却系统无法及时带走热量真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Toshiba真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线进气腔的容积增大是否松动、风扇轴承也会导致进气压力骤升。某化工企业的反应釜法兰密封垫损坏是否卡滞，松动则重新电机绕组温度从 110℃升至 160℃接线，卡滞则更换风扇轴承监测轴承部位温度（正常应≤70℃）。
在工业生产、科学研究、设备等众多领域或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫一台抽气速率为 100 m³/h 的油式滑阀真空泵散热片，清除灰尘堵塞。