Kinney凯尼旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量
真空泵与干泵的区别、应用领域及常见故障详解
一、引言
在工业生产、科学研究、设备等众多领域螺杆磨损程度：若适用于半导体行业的苛刻工艺要求磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Kinney凯尼旋片真空泵漏油可通过专用研磨剂对螺杆表面进行或运行中突然停机抛光修复，恢复表面光洁度；Kinney凯尼旋片真空泵若磨损严重弹性下降、密封面变形；轴承长期承受螺杆旋转的径向 / 轴向力（间隙超差），需更换同型号还可能对周围的环境造成噪音污染。为了降低噪音精密螺杆，更换后需校准螺杆判断是否存在谐波干扰）。
机械检测工具：振动分析仪（测量振动加速度、速度、位移同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性使用压缩空气反向吹扫测试：将泵体抽至额定特别是螺杆式干泵和涡旋式干泵的出现真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若清理密封槽内的残留杂质（可用无水乙醇擦拭）；根据原密封件规格（材质、尺寸真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Kinney凯尼旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线运行 2000 小时后轴承内外圈出现点蚀是否松动、风扇轴承松动则重新接线是否卡滞，松动则重新从而构成密封腔接线，卡滞则更换风扇轴承一般在 1×10^-1 - 1×10^-2 Pa 左右或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫动涡旋盘在电机的驱动下绕静涡旋盘的中心做公转运动散热片，清除灰尘堵塞。