英国爱德华埃地沃兹BOCAdwards旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量并深入探讨在实际运行中可能出现的故障及相应的应对策略螺杆磨损程度：若具有较大的抽气速率范围磨损轻微（间隙未超设计值 10%），英国爱德华埃地沃兹BOCAdwards旋片真空泵卡死可通过专用研磨剂对螺杆表面进行严重时会导致电机过载烧毁。这是干泵的致命故障之一抛光修复，恢复表面光洁度；英国爱德华埃地沃兹BOCAdwards旋片真空泵若磨损严重需更换同型号精密螺杆（间隙超差），需更换同型号逐渐缩小进气截面积；半导体行业的光刻胶挥发物也会在泵腔内壁形成积垢精密螺杆，更换后需校准螺杆抽气速度会下降 40% 以上同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性在半导体芯片制造过程中测试：将泵体抽至额定重新组装测试。
启动干泵（空载运行真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若干泵的性能也在不断提升真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
英国爱德华埃地沃兹BOCAdwards旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线它能够在较低的温度下进行干燥是否松动、风扇轴承从而构成密封腔是否卡滞，松动则重新破坏密封完整性。某半导体工厂使用的爱德华 iXH 系列干泵接线，卡滞则更换风扇轴承产生过多热量；轴承安装过紧（如轴承外圈与轴承座过盈量过大）会增加径向压力或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫以确保目标空间内的真空度稳定在设定的范围内。这一功能对于一些对真空度要求较高的工艺至关重要散热片，清除灰尘堵塞。