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XRF根据不同元素发出的特征X射线能量和波长各不相同，因此通过对X射线的能量或者波长的测量即可知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分析。同时样品受激发后发射某一元素的特征X射

线强度跟这元素在样品中的含量有关，因此测出它的强度就能进行元素的定量分析。

一般XRF有两种基本类型：

波长色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)

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