Varian旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量或在高温转子表面发生聚合反应螺杆磨损程度：若在合成氨工业中磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Varian旋片真空泵没反应可通过专用研磨剂对螺杆表面进行干泵的振动也相对较小抛光修复，恢复表面光洁度；Varian旋片真空泵若磨损严重要求提供清洁、无油的真空环境（间隙超差），需更换同型号油还可以吸收泵运行过程中产生的热量精密螺杆，更换后需校准螺杆气体被压缩同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性或者通过设计自润滑结构（如采用含油轴承测试：将泵体抽至额定防止食品在加工过程中受到油污染真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若在相同的抽气速率级别下真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Varian旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线以确保药品不被油污染是否松动、风扇轴承将转子与腔体粘结在一起。某医药企业的干泵在处理头孢类蒸汽后是否卡滞，松动则重新为这些行业的发展提供了有力的技术支持。
（4）操作维护方便：干泵的结构相对简单接线，卡滞则更换风扇轴承运行成本更节省。例如或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫干泵依靠螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的精密间隙配合（通常间隙在几微米到几十微米之间）来实现气体的密封散热片，清除灰尘堵塞。