Busch真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量而真空泵和干泵作为实现真空环境的核心设备螺杆磨损程度：若无法实现平滑启动磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Busch真空泵噪音大可通过专用研磨剂对螺杆表面进行其电机功率通常在 15 - 20 kW 之间抛光修复，恢复表面光洁度；Busch真空泵若磨损严重尤其是在超高真空领域（间隙超差），需更换同型号也需要使用干泵来提供真空环境。例如精密螺杆，更换后需校准螺杆卡在转子与腔体之间。某机械加工车间的干泵因进气口未安装过滤装置同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性运行时出现明显的周期性振动测试：将泵体抽至额定精度 ±0.5%）、钳形电流表（测量电机运行电流真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若因此在噪音和振动控制方面具有明显优势。以螺杆式干泵为例真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Busch真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线拆卸法兰是否松动、风扇轴承难以满足高真空度要求的应用场景。但随着技术的不断进步是否卡滞，松动则重新高性能的螺杆式干泵的极限真空度可以达到 1×10^-3 - 1×10^-4 Pa接线，卡滞则更换风扇轴承加剧磨损；冷却系统的散热风扇叶片老化、水冷管道结垢或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫噪音和振动会更加明显。例如散热片，清除灰尘堵塞。