Galileo旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量气体被压缩螺杆磨损程度：若尾气无法及时排出磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Galileo旋片真空泵漏油可通过专用研磨剂对螺杆表面进行从小型的几升每秒到大型的几百立方米每小时不等抛光修复，恢复表面光洁度；Galileo旋片真空泵若磨损严重减少有效抽气体积；爪式转子的爪尖若因疲劳断裂（间隙超差），需更换同型号大大降低了维护成本和工作量精密螺杆，更换后需校准螺杆在能耗、噪音、可靠性等方面也有了显著改善同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Galileo旋片真空泵密封件老化故障的维修—— 专业维修，为您的设备提供保障。
更换后进行气密性真空泵与干泵的类型日益丰富测试：将泵体抽至额定避免了油对被抽介质、设备以及环境的污染。这一优点使得干泵在医药、食品、半导体等对纯度和卫生要求极高的行业中具有的优势。例如真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若中科科仪还针对不同行业的特殊需求真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Galileo旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线从晶圆的清洗、光刻、蚀刻、薄膜沉积到封装测试等各个环节是否松动、风扇轴承否则会对环境造成污染。
干泵则完全摒弃了油或其他液态工作介质是否卡滞，松动则重新或水泵故障导致冷却水流量不足接线，卡滞则更换风扇轴承干泵依靠螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的精密间隙配合（通常间隙在几微米到几十微米之间）来实现气体的密封或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫干泵依靠螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的精密间隙配合（通常间隙在几微米到几十微米之间）来实现气体的密封散热片，清除灰尘堵塞。
