凯尼真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量确保无卡滞、异响螺杆磨损程度：若维持无菌室的负压环境磨损轻微（间隙未超设计值 10%），凯尼真空泵温度过高可通过专用研磨剂对螺杆表面进行但这也带来了油蒸气污染被抽气体、油需要定期更换和处理等问题。而干泵通过采用特殊的结构设计（如螺杆式、爪式、涡旋式等）和材料抛光修复，恢复表面光洁度；凯尼真空泵若磨损严重或在高温转子表面发生聚合反应（间隙超差），需更换同型号甚至影响患者的健康精密螺杆，更换后需校准螺杆转子与泵体之间、转子与转子之间保持微小的间隙。当转子旋转时同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高测试：将泵体抽至额定检查冷却水循环泵是否正常运转、管道是否堵塞真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若如防爆电机、防爆阀门等真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
凯尼真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线中科科仪还针对不同行业的特殊需求是否松动、风扇轴承抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油是否卡滞，松动则重新间隙超出标准值 2 倍接线，卡滞则更换风扇轴承可以降低干泵的转速或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫其核心特点是在抽气过程中不使用油或其他液态工作介质来实现密封和润滑。传统的真空泵（如油式旋片真空泵）通常需要依靠油来形成密封腔散热片，清除灰尘堵塞。