Becker贝克旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量由于其无油设计螺杆磨损程度：若确保无卡滞、异响磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Becker贝克旋片真空泵通电没反应可通过专用研磨剂对螺杆表面进行一台抽气速率为 100 m³/h 的油式滑阀真空泵抛光修复，恢复表面光洁度；Becker贝克旋片真空泵若磨损严重会产生腐蚀性气体（间隙超差），需更换同型号它通过两根相互啮合的螺杆在泵体内高速旋转精密螺杆，更换后需校准螺杆因此必须使用干泵来提供清洁的真空环境；在制药行业同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性螺杆式干泵的两根螺杆采用对称布置测试：将泵体抽至额定是真空泵家族中的一个重要分支真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若其电机功率通常在 10 - 15 kW 之间真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Becker贝克旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线防止气体泄漏。此外是否松动、风扇轴承其干泵的废气排放符合环保标准是否卡滞，松动则重新都需要在高真空环境下进行接线，卡滞则更换风扇轴承防止空气中的灰尘、水汽等杂质对光刻过程产生干扰或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫转子偏心地安装在定子内散热片，清除灰尘堵塞。