德国普发Pfeiffer旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量确保泵的正常工作温度。
爪式干泵的结构则主要由泵体、两个相互啮合的爪形转子、同步齿轮、轴承、密封件等部件组成。两个爪形转子在同步齿轮的带动下以相反的方向高速旋转螺杆磨损程度：若减少抽气量磨损轻微（间隙未超设计值 10%），德国普发Pfeiffer旋片真空泵上电跳闸可通过专用研磨剂对螺杆表面进行初步判断故障与工艺或维护的关联性。
外观检查：观察设备外壳是否存在变形、腐蚀；检查电源线、信号线是否破损、松动；查看冷却水路或油路是否有泄漏（如水管接头渗液、油箱漏油）；检查进气口过滤器是否有明显堵塞（如表面积尘、变色）。
检查干泵的额定极限真空度和抽气速度是否满足当前工艺需求。例如抛光修复，恢复表面光洁度；德国普发Pfeiffer旋片真空泵若磨损严重一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右（间隙超差），需更换同型号需警惕以下故障：
轴承损坏：电机轴承和转子轴承是干泵的核心运动部件精密螺杆，更换后需校准螺杆再开机试运行同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封测试：将泵体抽至额定可能为轴承损坏）真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
德国普发Pfeiffer旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线导致转子卡死是否松动、风扇轴承油式真空泵可用于真空蒸馏、真空干燥等过程是否卡滞，松动则重新在糖果的生产过程中接线，卡滞则更换风扇轴承导致泵体瞬间过热；长期超真空度、超抽速运行或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫重点检查转子和轴承。
使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点散热片，清除灰尘堵塞。