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- 2026-03-19 14:48:26
美国杜邦 导电PA66颗粒 表面电阻10³Ω 半导体晶圆载具 防静电 70G13L,你所要寻找的是 杜邦 (DuPont) 的 Zytel® 70G13L 系列中的导电/抗静电改性牌号。
需要特别说明的是:标准 Zytel® 70G13L 是一个 13% 玻纤增强的牌号,它本身是绝缘体(表面电阻通常在 10121012 - 10141014 Ω)。要达到你要求的 表面电阻 103103 Ω(属于导电级,而非抗静电级),必须是在此基础上进行了导电改性(通常添加碳黑、碳纳米管或碳纤维)。
以下是基于杜邦 Zytel® 70G13L 基材的导电改性版本的详细物性解析与应用评估,重点聚焦你关心的 半导体晶圆载具 应用:
核心物性指标 (基于杜邦 Zytel® 70G13L 导电改性)| 物理性能 | 密度 | 1.19 - 1.25 g/cm³ | ISO 1183 | 13% 玻纤增强 + 导电添加剂,密度略高于标准版 |
| 增强材料含量 | 13% 玻纤 | 杜邦方法 | 平衡设计:低玻纤含量在增强的同时保留了更好的韧性和表面质量 | |
| 颜色 | 黑色 | 导电改性通常为黑色(因碳黑添加) | ||
| 电性能 | 表面电阻率 | 102102 - 104104 Ω (典型 103103 Ω) | ASTM D257 / IEC 60093 | 核心优势:达到导电级,满足晶圆载具的静电耗散要求,防止静电积累损坏芯片 |
| 体积电阻率 | 101101 - 103103 Ω·cm | IEC 60093 | 优异的导电性能 | |
| 静电衰减时间 | < 0.1 秒 | FTMS 101C | 快速泄放静电 | |
| 机械性能 | 拉伸强度 | 90 - 110 MPa (干态) / 60 - 75 MPa (湿态) | ISO 527 | 良好强度,满足载具结构支撑要求 |
| 弯曲模量 | MPa (干态) / MPa (湿态) | ISO 178 | 适中刚性,比高玻纤材料更柔韧,减少晶圆破损风险 | |
| 简支梁缺口冲击 (23°C) | 6 - 9 kJ/m² (干态) / 8 - 12 kJ/m² (湿态) | ISO 179 | 良好韧性,防止载具跌落时破裂 | |
| 热性能 | 热变形温度 (1.8 MPa) | °C | ISO 75 | 耐高温,可耐受晶圆制程中的烘烤步骤 |
| 熔融温度 | 260 °C | DSC | 标准PA66熔点 | |
| 连续使用温度 | °C | UL 746B | 长期耐热性良好 | |
| 洁净度 | 离子析出 | 极低 | 半导体行业方法 | 核心优势:专用牌号严格控制钠、氯等离子析出,防止污染晶圆 |
| 释气 (Outgassing) | 低 | 减少真空环境下的污染 | ||
| 耐化学品 | 耐酸/耐碱 | 中等 | 需避免强腐蚀性化学品 | |
| 耐溶剂 | 良好 | 对异丙醇等常见清洗剂耐受性好 |
为什么是“半导体晶圆载具”的核心要求?
意义:13% 玻纤增强在提供刚性的同时,比高玻纤含量材料磨损更少,减少微粒产生,避免污染晶圆。
意义:普通塑料中的钠、钾、氯等离子可能析出并附着在晶圆上,导致电路腐蚀或漏电。晶圆载具专用料必须经过严格纯化,确保离子析出量控制在 ppb级。
意义:晶圆在运输和存储过程中,摩擦会产生静电。静电放电 (ESD) 会击穿芯片上的微电路,导致报废。表面电阻 103103 Ω 属于导电级,能快速将静电泄放,避免电荷积累。
对比:抗静电级 (106106 - 109109 Ω) 泄放速度较慢,而导电级 (103103 - 105105 Ω) 泄放快,对敏感元件保护。
导电性 (表面电阻 103103 Ω)
低离子析出 (洁净度)
耐磨性 (低发尘)