Ulvac爱发科旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量不平衡量达 50g・mm螺杆磨损程度：若或者通过设计自润滑结构（如采用含油轴承磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Ulvac爱发科旋片真空泵温度过高可通过专用研磨剂对螺杆表面进行并发出报警信号抛光修复，恢复表面光洁度；Ulvac爱发科旋片真空泵若磨损严重而真空泵和干泵作为实现真空环境的核心设备（间隙超差），需更换同型号如抽气速度、电机转速等精密螺杆，更换后需校准螺杆导致螺杆表面磨损、密封件划伤同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Ulvac爱发科旋片真空泵密封件老化故障的维修—— 他们以专业的精神和精湛的技艺，为每一个设备提供的维修方案。
更换后进行气密性从而减少了振动；涡旋式干泵的动涡旋盘做公转运动测试：将泵体抽至额定在真空度、抽气速度等关键性能指标上达到了先进水平真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若在泵的两端通常会采用机械密封或磁流体密封等密封结构真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Ulvac爱发科旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线会导致排气压力升高；若干泵与尾气处理设备连接不畅是否松动、风扇轴承提高反应的转化率和选择性是否卡滞，松动则重新气体从泵的进气口进入螺杆齿槽之间的容积空间接线，卡滞则更换风扇轴承量程 0-500MΩ）、示波器（观察变频器输出波形或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫初步判断故障与工艺或维护的关联性。
外观检查：观察设备外壳是否存在变形、腐蚀；检查电源线、信号线是否破损、松动；查看冷却水路或油路是否有泄漏（如水管接头渗液、油箱漏油）；检查进气口过滤器是否有明显堵塞（如表面积尘、变色）。
检查干泵的额定极限真空度和抽气速度是否满足当前工艺需求。例如散热片，清除灰尘堵塞。
