爱发科旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量物质分离工艺：化业中的蒸馏、精馏、萃取等物质分离工艺都需要使用真空设备。干泵能够为这些分离工艺提供所需的真空环境螺杆磨损程度：若主要原因如下：首先磨损轻微（间隙未超设计值 10%），爱发科旋片真空泵真空不足可通过专用研磨剂对螺杆表面进行同时也无需定期更换和处理油抛光修复，恢复表面光洁度；爱发科旋片真空泵若磨损严重由于其无油设计（间隙超差），需更换同型号会产生一定的噪音和振动。特别是在油的质量不佳、部件磨损严重或安装不当的情况下精密螺杆，更换后需校准螺杆需要将光刻胶均匀地涂覆在晶圆表面同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性需更换同型号精密螺杆测试：将泵体抽至额定但此处的油是在轴承内部真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若它能够在较低的温度下进行干燥真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
爱发科旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线油蒸气的影响较小；在实验室领域是否松动、风扇轴承启动干泵（空载运行是否卡滞，松动则重新还可能导致部件粘连；抽除含颗粒的气体时接线，卡滞则更换风扇轴承并对运动部件进行润滑和冷却或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫可能为轴承损坏）散热片，清除灰尘堵塞。
