真空钎焊蓝宝石观察窗
真空钎焊蓝宝石观察窗

真空钎焊蓝宝石观察窗

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淄博晟元新材料科技有限责任公司
漏率
<1×10⁻¹⁰ mbar·L/s
工作温度
-100℃ ~ +450℃
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发布时间
2026-04-27 10:20:41
产品详情

密封工艺:高温真空钎焊(金属键合,无O圈)

漏率:<1×10⁻¹⁰ mbar·L/s(氦质谱检漏)

工作温度:-100℃ ~ +450℃(CF法兰)

材料:光学级单晶蓝宝石(α-Al₂O₃),莫氏硬度9

法兰选项:CF / KF / ISO / VGF,材质304/316L/钛合金

定制服务:AR镀膜、无磁性版本、异形尺寸、耐高压设计

一、产品概述

真空钎焊蓝宝石观察窗实现漏率 <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s(氦质谱),工作温度 -100~450°C,采用金属键合密封,无弹性体老化风险。该产品的标准规格与定制服务,适用于半导体PVD/CVD、超高真空MBE、红外探测器封装、高压反应釜等苛刻环境。

本产品采用高纯度光学级单晶蓝宝石与不锈钢/钛合金法兰,通过超高真空钎焊工艺实现气密性金属封装,兼具紫外至中红外的宽光谱透光性(150~5500nm)。

二、产品优势

优势维度

详细说明

超高真空钎焊

专利高真空钎焊工艺,金属焊料形成无气孔键合层,漏率低至 <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s,支持450℃烘烤除气。

无磁性选项

可选钛合金或316无磁不锈钢法兰,避免电磁干扰,适用于MRI、高能物理实验。

宽光谱透光

未镀膜透光范围150~5500nm,可见光透过率≥85%;可定制AR增透膜(单波段或宽带),*高透过率>99%。

极端环境耐受

工作温度-100~450℃,耐高温冲击(推荐速率≤3℃/min);蓝宝石本体熔点2050℃,耐多数酸碱腐蚀(除强碱)。

耐高压定制

采用厚壁+金属C-ring设计,可承受*高200 psi(约1.38 MPa)内外压差,适用于深海或高压反应器。

三、技术规格表

参数项

标准指标

密封工艺

高真空钎焊(真空炉内金属键合)

法兰标准

CF(ConFlat)、KF(快速卡钳)、ISO-F/K、VGF

法兰材质

304L /   316LN 不锈钢,钛合金(无磁)

窗口直径

Φ10 mm ~   Φ160 mm(可定制至170mm以上)

厚度范围

1 mm ~ 30   mm(依耐压需求定制)

透光范围(未镀膜)

150 nm ~   5500 nm(紫外至中红外)

透光率(未镀膜)

≥85% @ 可见光;~50%~70% @ 250 nm

折射率 @ 633 nm

≈1.76

平整度(面型)

≤λ/4   @633nm(标准),λ/10(高精度)

平行度

<3 弧分

表面质量(S/D

20/10(光学级)

泄漏率(氦质谱)

<1×10⁻¹⁰   mbar·L/s He(可选<2×10⁻¹¹)

工作温度范围

-100 ~ +450(CF法兰)

烘烤除气温度

*高450℃

晶向

C面(0001)、A面、R面可选

四、材料对比:蓝宝石 vs 石英 vs 普通玻璃

性能

蓝宝石 (Sapphire)

石英 (Fused Silica)

普通玻璃

莫氏硬度

9

5.5

5~6

透光范围

0.15~5.5   μm

0.18~2.1   μm

0.35~2.0   μm

*高工作温度(晶体)

~1900

~1100℃

300~500℃

真空钎焊适配性

✅ *佳(金属键合)

❌ 易脆裂

❌ 不适用

双折射

有(可选用特殊晶向弱化)

抗化学腐蚀

极强(除强碱)

较强

五、定制选项

定制类型

可选范围

增透膜(AR

单波长减反射、宽带减反射(BBAR)、双峰减反射、ITO导电膜、DLC耐磨膜

几何形状

圆形、方形、矩形、异形开孔

厚度与耐压

加厚至30mm以上以承受更高正压,或减薄至0.5mm用于紧凑系统

无磁性设计

法兰材质升级为钛合金或316无磁不锈钢,焊料选用无磁合金

超大尺寸

直径≥160mm,或长边≥200mm的矩形窗口

六、典型应用场景

领域

具体用途

半导体制造

PVD、CVD、PECVD、ALD、离子注入机、刻蚀机的腔体观察窗

超高真空科研

MBE、XPS、SPM、同步辐射、表面科学分析腔体

红外探测与激光

红外焦平面探测器(IRFPA)真空杜瓦窗口、高功率激光输出窗

化工与高压反应

高压反应釜、惰性气体手套箱、腐蚀性流体视镜

航空航天

导弹红外导引头整流罩、航天器光学载荷密封窗、舰载光电设备

医疗与生命科学

内窥镜尖-端窗口、高压蒸汽灭菌器观察窗

深海探测

水下机器人光学窗口、深海耐压舱观察窗(定制耐压版本)

七、常见问题(FAQ

Q1:蓝宝石观察窗的真空漏率能做到多少?
A:标准品漏率 <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s(氦质谱检漏),可定制 <2×10⁻¹¹ mbar·L/s 的超高真空版本,适用于UHV/XHV系统。

Q2:钎焊蓝宝石窗口和O圈密封窗口有什么区别?
A:钎焊窗口采用金属焊料直接密封,无弹性体退化风险,耐烘烤温度可达450°C,适合超高真空和腐蚀性气体环境;O圈密封仅适用于高真空(≤10⁻⁶ mbar)且不耐高温烘烤。

Q3:蓝宝石窗口可以用于深海高压环境吗?
A:可以。标准真空钎焊观察窗主要针对内压差(真空腔对外部大气),如需双向耐压或承受外部高压(如深海),需定制厚壁+金属C-ring设计,*高工作压力达200 psi(约1.38 MPa,相当于水深约138米)。更深水域请联系我们定制。

Q4:蓝宝石窗口会不会有双折射问题?
A:蓝宝石是单晶材料,确实存在双折射。若您的光路对偏振态敏感(如干涉测量、偏振成像),建议选用A面或R面晶向的窗口,或在需求中说明,我们会为您优化晶向选择。

Q5:*小起订量(MOQ)是多少?
A:标准CF/KF法兰型号1件起订;非标定制(特殊尺寸、无磁性、极低漏率等)*低2件起订。批量采购享有梯度折扣。

Q6:是否提供第三方检测报告?
A:默认提供出厂氦质谱检漏报告表面质量检测记录。如有需要,可委托第三方机构(如中国计量院)出具独立检测报告,费用另计。

Q7:交货周期多长?
A:标准现货型号3-5个工作日发货;标准非现货(常用规格但无库存)7-15个工作日;高度定制(新开模具、特殊镀膜)20-30个工作日。紧急订单可协商加急。


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