志昇无尘净化烤箱技术参数
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志昇无尘净化烤箱技术参数

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志昇自动化设备(深圳)有限公司
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志昇
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SZ-QMO
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2026-04-28 10:55:08
产品详情
一、应用范围

志昇无尘净化烤箱广泛应用于半导体制造(晶圆、芯片封装)、电子元器件(PCB、FPC、电容电阻)、光电显示(LCD、OLED、触摸屏)、精密五金、医疗器械、生物医药、新材料研发及航空航天零部件等领域。特别适用于要求无尘、无氧化、高洁净度的烘烤、干燥、固化、老化测试等工艺环节。

二、应用特点

百级洁净度:采用HEPA/ULPA高效过滤系统,内部洁净度可达Class 100(ISO 5级),有效拦截0.3μm以上微粒,杜绝烘烤过程二次污染。

高精度温控:PID智能调节+SSR无触点输出,控温精度±0.1℃,温度均匀度≤±1%,满足严苛工艺需求。

氮气保护可选:配置氮气注入系统与氧含量检测,氧含量可低至1ppm以下,防止产品氧化变色。

无尘结构设计:内胆满焊圆角无死角,镜面304不锈钢材质,无螺丝外露,风道循环合理,无微粒积聚。

多重安全保护:超温报警、漏电保护、风机过载保护、门锁联动等,确保运行可靠。

三、技术参数型号ZS-1000ZS-2000(参考)
内胆尺寸(宽×深×高)600×500×500mm800×700×700mm
温度范围RT+20~200℃(可选300℃)同左
温度波动度±0.3℃±0.3℃
温度均匀度±1.0%(空载)±1.0%
洁净度Class 100Class 100
加热功率4.5kW6kW
电源380V/50Hz380V/50Hz
四、使用事项

使用前:确认电源电压匹配,检查进风口初效滤网有无堵塞。用无尘布沾酒精擦拭内胆,不可残留纤维或颗粒。

运行中:待烘烤物料须置于专用无尘托盘内,不可直接接触内壁。设定温度不应超过设备高标称值。严禁在加热时频繁开关箱门,以免引入粉尘。

氮气使用:需开启氮气时,先通氮5分钟置换空气后再升温;关闭时先停止加热,待降温后再关氮。

维护保养:每季度清洗或更换高效过滤器;每月检查风机轴承及加热管状态;长期停用应切断电源并覆盖防尘罩。

安全注意:烤箱工作时外壳温度较高,避免烫伤。设备应放置在通风干燥处,前后留有不小于30cm的散热空间。

志昇自动化设备(深圳)有限公司

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